作為無塵室廠房的裝修工程設(shè)計的先導(dǎo)步驟，工藝設(shè)計需要在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下合理進行無塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)設(shè)備布局，合理確定各種公用動力設(shè)施的技術(shù)參數(shù)，做到能量消耗少、運行費用低、生產(chǎn)效率高和建設(shè)投資少;同時，還需要合理進行人流路線、物料運輸和倉儲設(shè)施的配置和布置，滿足電子產(chǎn)品無塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)要求和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求；此外，還應(yīng)該盡可能提升生產(chǎn)設(shè)備的自動化水平和物料運輸?shù)淖詣踊?，在?jīng)濟、實用、安全可靠的條件下提高生產(chǎn)效率。

生產(chǎn)設(shè)備的平面布局也是電子無塵室廠房的裝修工程工藝設(shè)計的重要內(nèi)容。電子無塵廠房形式一般有隧道式(或稱港灣式)、開放式、島形布置等。據(jù)調(diào)查表明，集成電路芯片制造用無塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠，生產(chǎn)設(shè)備橫跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護區(qū)，潔凈生產(chǎn)區(qū)對潔凈度要求嚴格，而設(shè)備維護區(qū)的空氣潔凈度等級相對較低。

觸摸屏車間潔凈要求：

LCD無塵車間凈化其凈化潔凈度一般為萬級，局部千級要求，部分要求恒溫恒濕。

1、無塵車間安裝室內(nèi)空氣參數(shù)要求:

1-1溫濕度要求：溫度一般為23+2℃，相對濕度為55+5%。

1-2新風(fēng)量大。由于這類凈化無塵車間內(nèi)人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的.大值：非單向流凈化無塵室車間總送風(fēng)量的10-30%;補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;**室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。

1-3送風(fēng)量大。為了滿足無塵凈化車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是千級凈化無塵車間，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);

1-4壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

1-5平均風(fēng)速：100級：0.3-0.5m/s;

1-6噪聲≤65dB(A);

1-7照度≥300LX

2、人流

2-1、人員凈化：

2-2、潔凈室入口設(shè)風(fēng)淋室。貨物進出設(shè)貨淋室或者傳遞窗等物流通道;

2-3、單人風(fēng)淋室，應(yīng)按.大班人數(shù)30人設(shè)一臺。潔凈室人員超過5人時，風(fēng)淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門;

2-4、風(fēng)淋室的進、出門不得同時開啟，應(yīng)采取連鎖控制措施;

2-5、空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室，宜設(shè)氣閘室。

3、物流

3-1、潔凈室內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)獨立設(shè)置，并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)的物凈設(shè)施。

3-2、物料凈化用室與潔凈室之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

4、靜壓差

4-1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa;

4-2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa;

4-3、潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。

5、凈化原理

氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化
重復(fù)以上過程，即可達到凈化車間目的

6、結(jié)構(gòu)材料

6-1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，其特點為美觀、剛性強。角與角之前的拼接選用圓弧連接，宜清潔，符合GMP要求

6-2、地坪：可采用2mm/3mm環(huán)氧樹脂或是PVC地坪，電子廠房選用防靜電地坪

6-3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

6-4、高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔 。